精密气浮龙门扫描平台

　　精密气浮龙门扫描平台是厦门越昌科技自主研发的高端精密检测配套设备，依托气浮非接触式运动、零摩擦、高平稳度、纳米级定位精度的核心优势，可实现高速、高精度、无抖动全域扫描检测，广泛适配半导体、光学光电、精密电子、高端制造及科研实验等多个高精尖领域，是超精密检测与微加工工序的核心基础设备。

　　在半导体与微电子领域，该平台可用于晶圆外观缺陷扫描、厚度检测、形貌校准、掩膜对位等工序，稳定无震动的运动特性可保障微米、纳米级检测精度，有效规避机械摩擦带来的检测误差，适配芯片封装、微器件加工检测需求。

　　在光学光电行业，适用于OLED屏幕、光学透镜、玻璃基板、精密镜片的全域扫描检测，可搭配AOI光学检测系统、显微成像设备完成平整度、瑕疵、透光一致性检测，精准捕捉微小划痕、颗粒缺陷，满足高端光电产品的品控标准。

　　同时，设备可应用于PCB精密线路扫描、激光微加工定位、航空航天微型零部件尺寸校准等场景。其大行程、高加速、高重复定位的性能，可适配多工位连续作业，大幅提升检测效率。此外，也可用于高校、科研机构的纳米实验、新材料性能测试、精密光路调试等科研场景，为超精密实验检测提供稳定可靠的运动支撑，是高端精密制造与科研检测的核心配套设备。