EC-ABL-X系列一维气浮运动平台

　　厦门越昌科技 EC-ABL-X 系列一维气浮运动平台，采用气浮非接触式支撑结构搭配高精度光栅闭环反馈，运动过程无机械摩擦、无磨损，具备直线度高、振动小、定位精度优、运动平稳等特点，可实现长行程连续匀速扫描，是精密检测、光学测量与微纳加工设备的核心运动单元，广泛应用于半导体、光电光学、精密计量、科研实验等领域。

　　在半导体检测行业，该EC-ABL-X 系列一维气浮运动平台可搭载光学检测模组，用于晶圆表面缺陷扫描、薄膜厚度检测、光刻图形尺寸量测。低振动特性保障光学成像稳定，无摩擦运动不会产生粉尘，适配洁净室工况，为晶圆抽检、膜层表征提供稳定的一维运动基准，有效提升检测重复性，助力半导体前道与封测工序质量管控。

　　光电光学领域，EC-ABL-X 系列一维气浮运动平台用于光学基板、光学薄膜、衍射光栅的面形检测与尺寸扫描。配合激光干涉仪、光谱检测系统完成长距离扫描测量，消除机械摩擦带来的运动抖动，保障光学元件平面度、线条均匀度检测结果可靠，满足光学镜头、光通信器件的研发与量产质检需求。

　　精密计量与校准场景，EC-ABL-X 系列一维气浮运动平台可作为标准运动基准，用于各类位移传感器、光栅尺、激光测长仪的标定工作。优异的运动直线度与定位稳定性，为计量实验室和仪器厂商提供溯源级一维运动载体，完成精密测量器件的精度校验，保障计量数据准确可信。

　　科研与微纳实验方面，平台适配高校、研究院的微纳光学实验、显微扫描、材料表面形貌表征。行程与运动参数可灵活配置，支持长时间连续扫描，助力新材料、微纳器件的工艺验证，缩短研发测试周期。

　　该EC-ABL-X 系列一维气浮运动平台结构紧凑，可单独使用，也可多套组合搭建多轴运动系统，支持行程、负载与控制系统定制。厦门越昌科技深耕精密检测装备研发，可为客户提供一体化气浮运动平台解决方案，赋能高端精密检测装备国产化落地。