高精度位移台超精密气浮运动平台

　　在半导体检测、激光微加工、软包电池 3D 形貌扫描、光学计量等高端制造场景，运动平台的定位精度、运动稳定性直接决定检测结果的可靠性。厦门越昌科技自主研发生产高精度位移台・超精密气浮运动平台，依托自研空气轴承技术，打造无摩擦、低扰动、高洁净的超精密运动解决方案，为各类精密检测设备提供核心运动载体。

　　本款超精密气浮运动平台采用空气轴承悬浮导向，运动过程无机械接触、无磨损、无粉尘产生，适配无尘车间使用环境。搭配高分辨率光栅尺与无铁芯直线电机直驱结构，消除丝杆传动带来的回程间隙与摩擦误差，重复定位精度可达纳米级别，最小步长低至 10nm。平台运动平顺，俯仰、偏摆、滚转几何误差极小，长行程连续扫描时，依然保持稳定的运动轨迹，有效降低阿贝误差对检测数据的干扰。

　　基座选用高稳定性大理石材质，具备低热膨胀、高刚性、低形变优势，抵御环境温度变化带来的精度漂移。可根据客户需求定制单轴、XY 平面、XYZ 多轴以及气浮转台组合方案，也可与主动减震系统配套集成，抵消外界振动干扰，解决精密检测场景中振动导致的数据失真难题。平台支持高速扫描与低速微动两种工作模式，兼顾运动效率与定位精细度。

　　产品广泛应用于半导体晶圆外观检测、激光微纳加工、软包电池极片 3D 轮廓检测、光学元件计量、线光谱 3D 检测等领域。区别于普通直线电机位移台，气浮平台无机械摩擦老化问题，长期连续运行性能衰减小，大幅降低设备后期维护成本。

　　厦门越昌科技深耕精密检测与超精密运动领域，可提供从方案设计、非标定制、样机调试到现场安装售后一体化服务。依托厦门本地研发生产基地，快速响应客户定制需求，可联动线光谱 3D 检测仪、主动减震系统打造整套精密检测装备方案，助力高端制造客户突破超精密检测的精度瓶颈。