越昌气浮隔振平台以空气静压隔振原理为核心,通过精密气室结构形成柔性气膜支撑,将台面与外部地基振动隔离,区别于传统被动阻尼隔振,可高效隔绝地面传递的风机、空压机、流水线、叉车带来的低频与中频振动。
在纳米级检测、光学干涉、激光加工、半导体晶圆检测等场景里,外界微小振动都会直接造成成像模糊、测量数据漂移、加工良率下滑。普通减震垫、橡胶隔振手段对低频振动抑制能力有限,很难满足高端精密设备对环境稳定性的严苛要求,气浮隔振平台正是解决这类痛点的核心方案。
越昌气浮隔振平台以空气静压隔振原理为核心,通过精密气室结构形成柔性气膜支撑,将台面与外部地基振动隔离,区别于传统被动阻尼隔振,可高效隔绝地面传递的风机、空压机、流水线、叉车带来的低频与中频振动。搭配高精度压力控制系统,自动调平、自适应负载变化,台面水平度稳定,承载后不易倾斜,为上方的位移台、光学镜头、光谱检测仪、干涉仪提供纯净稳定的工作基准。

平台主体多采用天然花岗岩基座,刚性强、应力低、热变形小,不易随环境温变发生形变。运行无机械接触、无摩擦、无油脂污染,无尘适配,可直接用于百级、千级洁净车间。可选配主动反馈减震模块,针对微弱低频振动进一步抵消,适合对振动指标要求极高的计量实验室与在线检测工位。
它既可单独作为光学实验基座,也能和气浮位移运动台组合配套使用,形成 “隔振 + 精密运动” 一体化方案,广泛应用于光学计量、3D
形貌检测、半导体芯片检测、激光微加工、科研光学实验、MEMS 器件测试等领域。支持不同尺寸、负载等级定制,接口标准化,方便和自动化检测设备集成配套。
国产自研方案,相比同类进口产品拥有更短交付周期、本地化技术支持,能根据现场振动环境做针对性调校。如果您的检测设备长期受振动干扰、测量重复性差,可提供现场工况,为您评估匹配合适的隔振方案。