针对半导体、高洁净严苛场景,专属精密气浮平台采用非接触气膜支撑技术,实现零摩擦、零磨损、无粉尘、低振动运行,杜绝机械磨损带来的精度漂移,长时间量产检测精度始终一致。
在半导体、光学检测、激光加工、微纳制造行业,很多企业都会遇到同一个难题:设备新装机精度达标,量产一段时间后就出现抖动、偏移、重复性差,良品率忽高忽低,排查软件、调校参数都无法根治问题。
事实上,绝大多数检测精度问题,根源不在于检测算法与镜头,而在于运动承载平台的稳定性不足。传统机械位移台存在摩擦损耗、回程间隙、高速抖动、积尘干扰等问题,长期连续作业后精度持续衰减,完全无法适配纳米、微米级的高端检测工况。

针对行业普遍痛点,越昌科技依托多年精密运动研发经验,打造适配全场景的精密检测设备核心解决方案。自研精密位移台采用高刚性结构、直驱传动与高精度光栅反馈设计,彻底消除间隙误差,重复定位精度稳定可控,完美解决低速卡顿、高速偏移问题。
针对半导体、高洁净严苛场景,专属精密气浮平台采用非接触气膜支撑技术,实现零摩擦、零磨损、无粉尘、低振动运行,杜绝机械磨损带来的精度漂移,长时间量产检测精度始终一致。
我们支持全规格非标定制,可根据客户行程、负载、精度要求、安装空间、洁净等级量身打造方案,提供设计、样机、批量交付、售后调试一站式服务。从源头稳住检测精度,降低企业返修成本与试错成本,为高端精密检测产线稳定量产保驾护航。