气浮隔振光学平台专为超高稳定光学系统打造

　　在纳米级光学检测、微纳加工与精密测量中，地面微振动、楼层低频扰动，往往是光路漂移、成像模糊、测量数据重复性差的核心诱因。气浮隔振光学平台，专为超高稳定光学系统打造，是精密实验与工业检测的核心稳定基座。

　　本系列气浮隔振光学平台采用钢蜂窝夹心台面结构，高刚性、低应力，台面排布标准 M6 安装网格孔，平面度优异，可选花岗岩台面满足重载、恒温工况。依托气浮支撑原理，洁净压缩空气在支腿内部形成空气弹簧悬浮支撑，切断地面刚性振动传递;搭配自调平阀组，负载变动时自动维持台面水平。可选摆杆式气浮结构强化水平方向隔振性能，更高要求场景可升级主动隔振方案，搭载振动传感与补偿作动单元，实时抵消车间复杂低频扰动。

　　凭借超低固有频率、优异的低频隔振能力，气浮隔振光学平台广泛适配多领域高端应用：

　　✅ 半导体领域：晶圆 3D 形貌检测、光刻胶检测、掩膜版检测、芯片封装检测、碳化硅 / 陶瓷基板量测、AOI 上下对光学检测系统基座;

　　✅ 新能源领域：软包电池极片轮廓检测、燃料电池双极板检测、光伏薄膜干涉测厚;

　　✅ 激光与光通信：飞秒激光微加工、激光干涉面型检测、光纤耦合、光器件封装测试;

　　✅ 科研前沿实验：干涉系统调试、超快光学、高分辨光谱、量子光学、冷原子实验;

　　✅ 精密计量与显微：原子力显微镜 AFM、超高分辨显微、光学元件面形检验、MEMS 器件标定;

　　✅ 精密运动集成：作为直线电机位移台、气浮位移台、气浮转台、龙门双驱平台的配套底座，保障纳米级扫描定位精度。

　　气浮隔振光学平台分为被动气浮款、摆杆气浮款、主动隔振款，尺寸、负载、台面材质均可按需定制，可落地实验室、洁净车间、产线检测工位等多种环境，为您的光学系统提供稳定、可靠的无扰工作基准，守住微米乃至纳米级测量精度。