洁净车间半导体检测，为什么优先选用气浮位移平台

　　半导体晶圆检测、封装外观检测、光刻胶在线量测等工序，大多在百级、千级洁净环境内开展。产线里任何微小粉尘、摩擦碎屑，都有可能造成晶圆污染，引发良率损失，这也是传统机械导轨位移台在洁净半导体产线应用中的一大短板。

　　厦门越昌科技半导体检测专用气浮位移平台，采用气浮轴承气膜支撑结构，运动过程无金属接触、无机械摩擦，从根源杜绝摩擦掉屑，适配半导体洁净车间使用规范。平台运行振动极低，运动轨迹平直稳定，配合直线电机与光栅闭环反馈系统，低速扫描无爬行，高速启停无冲击，保障光学成像、干涉检测、3D 形貌扫描的数据重复性。

　　平台模块化设计丰富，XY、XYZ 多轴方案可选，台面、底座可选花岗岩材质，热稳定性强，受环境温漂影响更小。针对晶圆载台、光学检测工装、在线自动化检测工位，支持行程、负载、安装接口、控制协议非标定制，可无缝集成到 AOI 检测设备、晶圆测厚设备、缺陷扫描设备当中。

　　作为源头研发生产厂家，越昌科技每台气浮平台出厂都经过长时间稳定性测试、精度复测，附带完整校验报告。我们可配合设备集成商同步做洁净适配评估，提供前期方案对接、样机测试、现场调试服务。

　　如果您正在为半导体洁净检测产线选型低粉尘、高稳定运动基座，欢迎联系我们沟通工况，预约实地验厂，现场观看平台运行演示，定制匹配洁净产线的气浮运动解决方案。