光学精密气浮隔振平台|微纳光学检测稳定基座

　　光学精密气浮隔振平台是精密光学、半导体检测领域的基础核心配套，主要用于隔绝外界微振动干扰，为光路搭建、精密量测设备提供高刚性、高稳定的基准台面。

　　光学精密气浮隔振平台广泛应用于多个行业场景：半导体领域，用于晶圆缺陷扫描、光刻胶轮廓量测、薄膜厚度检测、先进封装 AOI、3D 形貌检测，搭配气浮位移台、干涉仪使用，避免振动造成成像错位、检测数据漂移;激光行业适配飞秒激光微加工、激光干涉检测、光纤耦合、全息曝光;科研实验室可支撑 AFM 原子力显微镜、共聚焦显微、光谱测试、量子光学实验;同时用于光学元件面型检测、航天精密元器件标定、高分辨生物荧光显微观测，也可作为各类精密位移测量仪器的承载基座。

　　被动气浮隔振平台凭借优异的隔振性能，对 5Hz 以上中高频振动衰减效果突出，台面刚性强、平面度高，方便搭建复杂光路;气浮结构无机械摩擦、不产生粉尘，适配半导体洁净车间，支持大尺寸、非标定制，连续运行稳定性好，故障率低。

　　光学精密气浮隔振平台也存在使用条件限制：需要配套洁净干燥的稳定气源，增加配套设备投入;对 1–3Hz 超低频振动抑制能力有限，大楼低频晃动、地铁扰动场景下隔振效果不足;对偏载、冲击载荷敏感，气源管路、过滤组件需要定期维护，设备自重较大，安装搬运要求高。

　　针对超低频振动严苛场景，可升级主动隔振光学平台，全频段抑制振动，无需气源，但采购成本更高、电控系统复杂，后期维保难度更大。