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厦门越昌科技有限​公司

Xiamen Yuechang Technology Co.,LTD

科研实验室精密运动平台,厦门越昌科技精密气浮平台稳定可靠

来源: | 作者:越昌科技 | 发布时间: 2026-10-14 | 38 次浏览 | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ ▶ | 分享到:

  在光学干涉、共聚焦显微、白光干涉测量等科研实验中,最让研究人员头疼的往往不是光路设计,而是位移台"动得不准"。传统机械导轨存在摩擦爬行、磨损间隙与振动干扰,长时间运行后精度逐渐劣化,直接导致实验数据离散、可复现性差,反复调试却找不到根源。

  问题通常不在传感器,而在运动与支撑这个最底层环节。

  气浮无接触,从原理上消除误差源

  越昌科技精密气浮平台采用静压气浮导向 + 直线电机直驱 + 高分辨率光栅全闭环反馈架构:高压气膜将运动部件完全托起,滑块与导轨零接触,摩擦系数趋近于零,从原理上杜绝爬行、间隙与机械磨损;省去丝杠、联轴器等中间传动环节,反向间隙归零。

  平台重复定位精度可达 ±0.05~0.1μm,分辨率低至 1nm,运动直线度稳定控制在 ±0.1μm/100mm 以内,定位精度达 ±0.1μm/m 量级。无论是逐点扫描还是逐层成像,都能为科研人员提供稳定一致的运动基准,确保实验数据可复现。

  同时,气浮支撑本身具备隔振能力,能有效削弱地面微振动传导,特别适配干涉测量、激光直写、共焦显微等对振动高度敏感的光学系统。

精密运动平台

  覆盖科研多场景,定制化灵活

  平台采用无油润滑、无微粒产生设计,洁净度兼容 Class 1 级环境,满足实验室与洁净产线的双重要求。产品覆盖单轴、XY 共面、龙门双驱及 XYZ 一体式等多种配置:

  1、光学干涉与共焦显微:平稳匀速扫描,保证多次成像质量一致;

  2、白光干涉面型测量:XY 共面架构减小阿贝误差,提供更纯净的运动基准;

  3、半导体封测与微纳装配:多轴联动实现高精度定位与全检追溯。

  行程、负载与精度等级均可按课题需求定制,从单轴扫描到多轴联动检测,灵活适配不同设备尺寸与工艺要求。

  源头直供,全流程跟进

  作为集研发、生产、销售于一体的源头厂家,越昌科技从气浮导轨、驱动系统到闭环反馈全部自主研发生产,出厂产品均经激光干涉仪全行程跑合校验。依托厦门本地区位优势,响应速度快、交期可控,提供从方案选型、安装调试到售后维护的全流程技术支持。

  精度不打折,稳定不妥协。 如您正在搭建或升级精密测量与定位系统,欢迎联系厦门越昌科技获取专属方案与选型建议。


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